伺服系统精度指伺服系统输出量偏离输入量的精确程度。伺服驱动器精度以动态误差、稳态误差和静态误差三种形式表示。伺服系统允许的偏差一般都在0．01～0．001mm，高精度伺服系统的偏差可达到±0．0001一±0．00005mm。伺服系统对分辨率也有一定的要求，系统分辨率取决于系统稳定工作性质和所使用的位置检测元件。目前的闭环伺服系统都能达到1um的分辨率，同时数控测量装置的分辨率可达0.1um。伺服驱动器拥有的精确检测装置可以保证信号不失真。

由于被控对象各不相同，伺服驱动器精度分类也就不同。比如在机床定位控制中，伺服系统精度主要是定位精度；液位控制系统中的液位精度；温度控制系统中的温度精度等。